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Home
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精準量測用質量流量計與控制器
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工業量測用熱式質量流量計
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| 在各種流量應用中，人們真正的需求是流體的質量流量而不是體積流量，因為體積會受到工作環境壓力或溫度的變化而改變，本公司所提供的Smart-Trak 2質量流量計的測量是直接測量流體的質量，所以不需擔心因環境變化所帶來的誤差，而且此款質量流量計或控制器與轉子流量計、孔口板流量計和其他體積流量計不同的是其直接測量流過氣體的分子數量，因此可忽略溫度和壓力變化對氣體測量所造成的影響，並提供可靠、穩定、精確的測量方法。 |
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Steel-Mass熱式質量流量計具備 Dry-Sensor專利技術，傳感器探頭為316不鏽鋼封裝，而且密封探頭由兩個RTD白金電阻式溫度感測器組成，包含速度傳感器及溫度傳感器，可以自動補償溫度及壓力變化產生的影響。此外，該傳感器探頭在密封和成型處理過程中，以及傳感器的成份與形體都不含有機成份，所以不會發生有機形變，因此在長時間使用後，儀表信號不會產生偏移，亦即具有優越的穩定性、重複性和精確度。 |
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攜帶式超音波質量流量計
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多參數渦流式質量流量計
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| Innova-Sonic攜帶式超音波質量流量計整合最新的流量數據分析處理技術、優良的電路設計與高精度的傳感器於一身，適用於任何液體流量的測量應用，並可提供高精度、高可靠度的流量測量。整臺儀表的配置與資料分析套件都具備非常人性化的操作介面，包括：即時流量顯示、正向累積流量、反向累積流量、流速、日期、時間以及流量日報表，而圖形化的介面功能更能讓使用者直接觀察與分析流量趨勢。 |
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Innova-Mass多參數渦流式質量流量計可量測氣體、液體與蒸汽等流體，分為240管道式與241插入式兩種型式，儀表本身無運轉部件，可使產品不易磨損，具備堅固耐用之特性，同時亦具備速度傳感器與溫度傳感器之設計與製造，以及內建流量計算裝置，所以能通過一個過程連接來同時測量五種過程參數，包含質量流量、溫度、壓力、密度、體積流量，而且此技術具有專利保護。 |
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超高真空系統用離子真空幫浦
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高真空與超高真空閥門
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| 離子幫浦為一種吸附幫浦，其工作原理是利用高壓讓氣體分子游離，並藉由電場的吸引撞入鈦板，經與鈦金屬板作用而埋入金屬板之內。由於這種吸附式的幫浦，其氣體是有進無出，且沒有直接與大氣環境接觸，所以屬於封閉型的幫浦，而且一旦鈦板埋入的氣體分子過多，便會失去效用。因此，離子幫浦都是用在超高真空環境下，而改良式的離子幫浦大都附有強而有力的磁鐵，其主要目的在於增長離子的運動距離，藉此增加與其他分子碰撞的機會，達到快速抽氣的目的。 |
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真空閥門若依其形狀結構、操作原理與用途分類，種類繁多，一般以系統的真空度需求來區分，可分為中低真空閥門、高真空閥門與超高真空閥門，主要功能為開閉氣體管路、調節或是隔絕真空系統內氣體之流通。高品質的真空閥門，必須要求其氣密性，不論是操作閥門或是保持閥門開閉時，均不可以發生洩漏，而且閥門所使用的材料也應該要是不易吸附氣體分子或是不易逸氣，此外真空閥門在做動態封合之零件，還必須具備耐磨性以及能反覆使用之功能。 |
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脈衝雷射蒸鍍製程用基板操作平臺
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電子槍蒸鍍源
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針對脈衝雷射蒸鍍製程所需要的樣品傳送系統與真空裝載腔體，本公司提供廣泛的基板與靶材的真空移動平臺產品線，而且元件全部採用標準的模組化設計，可以配置成各式各樣的應用來滿足您不同PLD製程的需求。
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電子槍提供電子束蒸鍍源，經常使用於光學鍍膜機或是生產高均勻度與高純度薄膜的應用製程。本公司的電子槍具備精簡的設計與便於維修的特性，使得該電子槍適用於幾乎所有的真空系統以及多變的真空應用，目前已廣泛使用於蒸鍍耐火材料、介電材料以及常見的導電性材料與半導體材料應用。本公司的電子槍不僅耐用可靠，而且操作簡單，也同樣適用於科學研究領域或是量產用機臺設備。 |
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